ISO 14644-1 클린룸 등급 정리: Class 1~9 한계표와 읽는 법
클린룸 등급은 공기 1 m³ 에 허용되는 입자 수로 정합니다. ISO 14644-1:2015 는 Class 1(가장 깨끗함)~9 아홉 단계입니다.
한계표 (Table 1, 개/m³)
| ISO Class | ≥0.1 µm | ≥0.2 µm | ≥0.3 µm | ≥0.5 µm | ≥1 µm | ≥5 µm |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 10 | — | — | — | — | — |
| 2 | 100 | 24 | 10 | — | — | — |
| 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | — | — |
| 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | — |
| 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | — |
| 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
| 7 | — | — | — | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| 8 | — | — | — | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| 9 | — | — | — | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
등급이 1 올라가면 허용 농도는 10배. 측정값으로 바로 판정하려면 ISO 등급 계산기.
공식
Cn = 10N × (0.1 / D)2.08 (N: 등급, D: 입자 크기 µm)
표 값은 이 식을 유효숫자 3자리로 반올림한 것입니다. 실무에서는 표를 기준으로 삼으면 됩니다.
빈 칸(—)의 뜻
0개가 아니라 그 조합으로는 분류하지 않는다는 뜻입니다.
- ISO 7~9 의 작은 입자: 농도가 너무 높아 적용 안 함 (각주 c)
- 작은 등급의 큰 입자: 입자가 너무 적어 통계적으로 부적합 (각주 d·e)
- ISO 5 의 5 µm: 2015년에 삭제, 필요하면 M 디스크립터 사용 (각주 f)
- ISO 9 는 운전 중 상태에만 적용 (각주 g)
2015년 개정에서 바뀐 것
- 1999년판의 작은 값(ISO 1 의 0.2 µm = 2, ISO 2 의 0.5 µm = 4, ISO 3 의 1 µm = 8, ISO 5 의 5 µm = 29)이 삭제됨.
- 면적별 최소 샘플링 위치 표(Table A.1)가 새로 들어오고, 95% 신뢰상한(UCL) 계산은 삭제됨. → 분류 측정 절차
- ISO 21501-4 교정 장비 사용 명시.
점유 상태
등급은 반드시 상태와 입자 크기를 함께 적습니다. 예: ISO Class 7 (operational, ≥0.5 µm)
- as-built: 설비 완성, 장비·인원 없음
- at-rest: 장비 가동, 인원 없음
- operational: 정상 작업 중
FED-STD-209E 대응 (0.5 µm 기준)
| 209E | ISO |
|---|---|
| Class 1 | ISO 3 |
| Class 10 | ISO 4 |
| Class 100 | ISO 5 |
| Class 1,000 | ISO 6 |
| Class 10,000 | ISO 7 |
| Class 100,000 | ISO 8 |
209E 는 2001년 폐지됐지만 호칭은 여전히 쓰입니다. 단위 변환과 GMP 대응은 대응표.
어디에 어떤 등급
- ISO 3~4: 반도체 핵심 공정
- ISO 5: 제약 무균 충전(Grade A/B), 디스플레이 핵심 공정
- ISO 6~7: 제약 Grade B 운전·Grade C, 의료기기, 정밀 광학
- ISO 8: 제약 Grade D, 전자 조립, 포장
- ISO 9: 일반 실내 공기 수준
참고: ISO 14644-1:2015 Table 1 및 각주 a~g, Annex A. 확인 2026-11-01.