입자 측정 단위 변환기·등급 대응표
단위 변환
입자 농도
1 m³ = 35.3147 ft³. FED-STD-209E 의 Class 100 (100 개/ft³ @0.5 µm) 은 3,531 개/m³ 이며, ISO 5 의 3,520 은 이를 유효숫자 3자리로 반올림한 값입니다.
유량
1 CFM = 28.3168 L/min. 파티클 카운터는 보통 1 CFM(28.3 L/min) 또는 0.1 CFM(2.83 L/min) 유량을 씁니다.
질량 농도
미세먼지(PM) 농도는 µg/m³, 작업환경 분진 노출 기준은 mg/m³ 로 적는 경우가 많습니다. 1 mg = 1,000 µg.
FED-STD-209E ↔ ISO 14644-1 대응
미국 연방 표준 FED-STD-209E 는 2001년 폐지되었지만 "Class 100", "Class 1000" 같은 호칭은 현장에서 여전히 쓰입니다. 0.5 µm 이상 입자 농도 기준입니다.
| FED-STD-209E | 개/ft³ (≥0.5 µm) | 개/m³ (≥0.5 µm) | ISO 14644-1 |
|---|---|---|---|
| Class 1 | 1 | 35 | ISO 3 |
| Class 10 | 10 | 352 | ISO 4 |
| Class 100 | 100 | 3,520 | ISO 5 |
| Class 1,000 | 1,000 | 35,200 | ISO 6 |
| Class 10,000 | 10,000 | 352,000 | ISO 7 |
| Class 100,000 | 100,000 | 3,520,000 | ISO 8 |
ISO 1·2 와 ISO 9 는 209E 에 대응하는 등급이 없습니다.
EU GMP Annex 1 (2022) Grade ↔ ISO 등급
유럽 GMP Annex 1 "무균 의약품 제조"(2022년 8월 개정, 2023년 8월 시행) Table 1 의 총입자 분류 한계입니다. "at rest"는 설비 가동·인원 부재 상태, "in operation"은 정상 작업 중 상태입니다.
| Grade | ≥ 0.5 µm (개/m³) | ≥ 5 µm (개/m³) | ISO 대응 (0.5 µm 기준, 참고) | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| at rest | in operation | at rest | in operation | at rest | in operation | |
| Grade A | 3,520 | 3,520 | Not specified | Not specified | ISO 5 | ISO 5 |
| Grade B | 3,520 | 352,000 | Not specified | 2,930 | ISO 5 | ISO 7 |
| Grade C | 352,000 | 3,520,000 | 2,930 | 29,300 | ISO 7 | ISO 8 |
| Grade D | 3,520,000 | Not predetermined | 29,300 | Not predetermined | ISO 8 | — |
"Not specified"(각주 a): 오염관리전략(CCS)이나 이력 추세가 요구하면 5 µm 를 포함한 분류를 고려할 수 있음. "Not predetermined"(각주 b): Grade D 운전 중 한계는 제조사가 위험평가와 운전 데이터로 설정. ISO 대응 열은 Annex 1 본문 표에 있는 것이 아니라 0.5 µm 한계값이 같은 ISO 등급을 적은 참고 정보입니다.