클린룸 등급 분류 측정 절차: 샘플링 위치 수, 샘플 부피, 합격 판정 (ISO 14644-1:2015)

“ISO 7” 이라고 말하려면 측정으로 증명해야 합니다. 그 절차가 ISO 14644-1:2015 Annex A 입니다. 숫자는 샘플링 계산기에서 바로 구할 수 있습니다.

0. 먼저 정할 것

1. 최소 샘플링 위치 수 (Table A.1)

면적이 표의 두 값 사이면 큰 쪽을 씁니다.

면적 (m²) 이하위치 수면적 (m²) 이하위치 수
217615
4210416
6310817
8411618
10514819
24615620
28719221
32823222
36927623
521035224
561143625
641263626
68131,00027
72141,000 초과27 × (A/1000), 올림

예: 2,000 m² → 54곳. 1999년판보다 위치 수가 늘었고(36 m²: 6 → 9곳), 대신 95% 신뢰상한(UCL) 계산이 없어졌습니다.

2. 위치 배치

3. 위치별 최소 샘플 부피

농도가 한계값일 때 가장 큰 입자가 20개 이상 세어지도록 정합니다.

Vs = (20 / Cn,m) × 1000 (L)

예: 48 m² 를 ISO 7, 0.5 µm 로 분류 → 10곳, 20/352,000 × 1000 = 0.057 L → 최소 규정 적용 → 2 L·1분. 1 CFM 장비면 총 10분.

4. 판정

5. 보고서

시험기관·날짜, 클린룸 식별·면적·점유 상태, 장비·교정 정보, 위치 배치도와 측정값, 최종 등급 표기(예: ISO Class 7 (operational, ≥0.5 µm)).

분류와 모니터링은 다르다

참고: ISO 14644-1:2015 Annex A·D, ISO 14644-2:2015, EU GMP Annex 1 (2022) 4.28. 확인 2026-11-01.